河北电子净化厂房_峰帆净化(在线咨询)_北京电子净化厂房
- 河北电子净化厂房_峰帆净化(在线咨询)_北京电子净化厂房 电子车间净化工程设计与净化车间施工特点: 洁净度等级要求高,风量、温度、压差、设备排……
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河北电子净化厂房_峰帆净化(在线咨询)_北京电子净化厂房
电子车间净化工程设计与净化车间施工特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、压差、设备排风按需受控,照度,洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格,其中对湿度的要求尤甚,因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏,一般来说,电子厂房的温度应控制在22度左右,相对湿度控制在50-60%之间,(特殊洁净车间有相关温湿度规定),这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适,芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造,生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度,新鲜空气量,噪声等作出了严格的规定。
1、电子制造万级洁净室内的噪声级(空态)不应大于65dB(A).
2、电子制造洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子制造洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa.
4、洁净室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40每立方米。
6、电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。
7、保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量。
8、根据热、湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量。
9、向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
电子工业洁净室的环境参数
河北电子净化厂房_峰帆净化(在线咨询)_北京电子净化厂房环境参数
参 数 | 数 值 | 说 明 |
截面风速/(M/S) | 0.3-0.5
0.2-0.4 |
洁净度1-3级(ISO)洁净室
洁净度4-5级(ISO)洁净室 |
换气次数/(次/H) | 50-60
15-25 10-15 |
洁净度6级(ISO)洁净室
洁净度7级(ISO)洁净室 洁净度8-9级(ISO)洁净室 |
静压差/PA | >5
>10 |
不同等级洁净室之间以及洁净室与非洁净室
之间洁净室与室外之羊 |
温度/。C | 18-22
16-20 按具体工程项目要求 24-26 26-28 按具体工程项目要求 |
工艺无要求时的生产环境
人员净化及生活用房 工艺有要求时的生产环境 工艺无要求时的生产环境 人员净化及生活用房 工艺有要求时的生产环境 |
相对湿度/%
冬 夏 |
30-50
按具体工程项目要求 50-70 按具体工程项目要求 |
工艺无要求时的生产环境
工艺有要求时的生产环境 工艺无要求时的生产环境 工艺有要求时的生产环境 |
新风量/[M3/(人.H) | 40 | |
噪声/DB(A) | <65 | 单向流及单向流与非单向流并存的洁净室 |
照度/1X | 300-500
200-300 |
非单向流洁净室主要生产用房(有低照度要求的如光刻,显示器件等除外)
其他用房 |
照度均匀度 | 0.7 | |
静电表面电阻率 | 1*105—1*1010 | 一级标准为1*105—1*107 |
静电体积电阻率 | 1*104-1*109 | |
地面对地的漏泄电阻 | *105-1*108 | |
静电压 | <50(45%相对湿度) | 4级(ISO)以上洁净室 |
振动速度
振动加速度 振幅 相对位移量 |
根据工艺或精密设备,仪器仪表特性确定或参照国标<隔振设计规范> | |
电磁干扰 | 4级(ISO)以上洁净室,当洁净室靠近高压输配电设施时尤为重要 |